凍干機技術中要測量的壓力范圍為10⁵～1Pa，屬于低真空與中真空范圍。但常會有可凝性氣體（以水蒸氣為主，也有油蒸汽），還伴隨著溫度變化和凍干機設備內溫度的不均勻等情況。因此在選擇凍干機的真空計和進行測量時，必須注意實際的工藝條件及其對測量結果的影響。目前在凍干機中主要應用的真空測量儀表有以下幾種。

1、熱導式真空計（熱偶真空計、電阻真空計）。

2、電容薄膜式真空計。

3、彈性式真空表。